L-P2106感光抗蚀油墨在LCD图形制造全过程(3)

2007/8/10 15:04:24

21级光梯尺基数系数对照21级光梯尺级数21级光梯尺系数21级光梯尺级数21级光梯尺系数11.414922.59021.9991031.94232.8271145.16743.9971263.86655.6511390.30667.99014127.693711.29815180.557815.976 　取得规定级数（最佳级数）所需曝光时间的计算可按下述方法（在光源泉固定的情况下）。　　4）曝光时间的计算：　　a.增加级数：按要求增加的级数选择曝光系数乘以原测定级数的曝光时间就是你所需级数的曝光时间。　　例如：曝光16s按正常的显影（温度、浓度、时间）所测为6级，而推荐为8级，则还需增加2级。查得2级系数为1.999，所以要获得8级的曝光时间为16s×1.999=31即为31s。　　b.减少级数：同样要按要求减少的级数选择，然后除以原测定的级数的曝光时间，就是您所需的曝光时间。　　例如：曝光40s测得为13级，而推荐为8级，按所规定级数需减少5级，查得5级的系数为了5.651，所以要获得8级的曝光时间应为40s÷5.651=7s。　　5.4 光能量、墨层厚度、解像性：　　1）L-P2106型感光抗蚀油墨光能量与油墨厚度关系。　　2）L-P2106型感光抗蚀油墨光能量与解像性。　　表2在不同曝光能量下的解像性（显影时间22s，膜厚10μm）mW/cm2=5mj/cm2406080100120140160180200线距μm88889991012 5.5 细线条的曝光和氧的阻聚：　　在制造2mil的线宽时要考虑影响它的因素，我们这里只想讨论细线的曝光。制造2mil线宽时尽管因素很多还是勉强可行的，但在制作1mil的线宽或小于1mil时，线条的陡直和边缘的整齐程度就无法保证。这是因为，油墨中O2的阻聚是个问题，它能使光化交联速度变慢直至阻止，严重时还能使表面发粘。O2的作用有两方面：　　一是对引发剂的影响，它可使激发状态的光敏剂猝灭，从而降低了引发剂的效率。二是在聚合过程中有阻聚作用。　　为了避免O2的干扰，使油墨在UV光下完成光聚合，专家们进行了长时间的试验，找出了几种方法来躲避O2的干扰。　　第一种方法即物理方法：将O2与固化体系隔离，但操作起来较难，可是这种方法用在PCB制造图形的干膜上，由于干膜有涤纶覆盖，曝光使能较好得把O2排斥在外。但0.02mm厚的聚脂膜将UV光进行了轻微程度的折射和散射，也对制作细线造成了障碍。　　第二种方法是在油墨的配方中选择好的光敏引发体系。　　第三种方法是提高光引发剂的浓度，将表面的氧气速度消灭，从而导致表面速度固化，而固化的表面可阻挡氧的扩散。另外在光敏树脂中加入干性油，利用干性油吸氧固化的特点来减少氧的影响。　　综上所述，尽管为感光油墨避氧想出了许多办法并已经在新制造的油墨中实施，在用户使用中收到一定的效果，但如果制造细线首先要在曝光强度上下功夫（当然还有其它条件，就不在此多述）。　　在油墨的曝光中，光的强度是一影响非常大的变数，如我们平时所用国产曝光机，采用4KW曝光10s，能使线条获得满意效果，若用2KW曝光20s时，线条相对变粗变细许多，这是因为感光抗蚀油墨的上层受UV光照后很快产生交联，但因强度的关系，UV光不能很快进入下层，这时O2从非曝光区被输送到缺氧的曝光区，这是由于浓度升降的差异，此时因时间的加长以及光的扩散部分交联和聚合不能完成，停留在曝光区及其周围。此现象多出现油墨厚10-15μm左右的范围内，因此涂层绝对不能厚。　　油墨较厚，UV强度不足时光线射入底层时间较长，的以在制造细线时必须提高曝光强度和缩短曝光时间（保持一定的光能量），这样使溶解O2的速度快于扩散进入曝光区的速度；要求在非曝光区的氧还来不及进入曝光区时已经完成曝光程序（聚合和交联完成），总之在规定的光能量下曝光强度越高，时间越短，是获得细线条的必要保证。

上一篇：L-P2106感光抗蚀油墨在LCD图形制造全过程(4)

下一篇：L-P2106感光抗蚀油墨在LCD图形制造全过程(2)

资讯类别

新闻资讯

技术文章

标准法规

行业展会

图片新闻

阅读排行