6、显影 6.1 显影的成份:0.8%~1.2%的碳酸钠水深液。 6.2 显影的过程:显影时未曝光的油墨在显影液中先是呈现溶胀现象,溶胀完成后即脱落显出图型,这时可在流水下冲洗干净即完成了显影的程序。但随着时间的推移,显影液的浓度将有改变,出现了显影困难时可适当增加显影时间并酌情更换新液。 6.3 显影点的确定: 1)显影点:曝光后的板进入显影机的显像区时,未感光的油墨开始脱落的点(在显影区的长度的位置)为显像点。 2)显影点的确定:它同显影的温度显影液的浓度和喷嘴的压力有关。 3)一般显像点均设在显影区的3/4的位置(即待显影的板面已经过影区的75%的位置,再经过25%的路程是将显出的全部板面使其无残膜)。 4)水洗:洗去多余的残膜和多余的显影液确保图形和底层的清晰。 6.4 控制好显影机压力、温度、传送速度及显影液的浓度的关系 7、后固化: 为弥补曝光的不足和加强油墨和底层的结合力,根据实际生产的需要可将板再次加温,强化交联和固化。可在100的电热恒温烘箱中保持15-30分钟,或用远红外烘道进行。 8、蚀刻: L-P2106感光抗蚀油墨有着良好的耐蚀刻性,它不仅在一定条件下耐感性氯化铜蚀刻液,还能抗多种酸性蚀刻液。如三氯化铁系列、硫酸双氧水系列、硝酸系列的蚀刻液等。 8.1 静蚀刻:静蚀刻就是将所需蚀刻的ITO板浸入静止的蚀刻液中,进行置换反应,经一段时间后即完成图形的蚀刻。这种形式操作简单,无需专用设备,但应注意的是蚀刻的时间,待蚀刻液同ITO的最底层反应完毕后,就获得了完整的ITO图形。如果时间长了会出现过蚀现象,使线条变细,改变了图形内部的几何尺寸。 8.2 动蚀刻:是通过蚀刻液的运动快速、循环更换被蚀刻表面的蚀刻液,促使反应加快速度,使图形更具忠实性。目前一般动蚀刻均采用喷淋式的蚀刻机,虽需添置专用设备,但调好喷嘴和蚀刻速度后,特别适合大批量的连续生产。应说明的是在操作中ITO面应朝下,能使蚀刻液快速的垂直交换,保证蚀刻图形尺寸的准确和蚀刻质量。 8.3 去墨:去墨条件应在55~60,5% NaOH的溶液中进行,墨层在80秒内应是片状脱落。 9、水洗: 这是一道非常重要的工序,水洗方式应为三级水洗。 即:……循环水洗→市水洗→纯水洗(有条件应进行在线干燥) 10、小结: 由于L-P2106感光抗蚀油墨有优良的分辨率和良好的抗蚀能力。能完成LCD中ITO的精密图形,而且价格低廉故备受业内人士青睐。相信今后在本行业中会有更广泛的推广和使用。来源:北京力拓达科技有限责任公司 李春甫
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