四、印刷环境调控
服务于半导体例如IC(集成电路)制造、晶圆凸起、电子基板互连;光电显示技术中的LCD(Liquid Crystal Display——液晶显示器)、薄膜晶体管、EL(Electro Luminescence——场致发光技术)、有机发光二极管显示面板(Organice Light-Emitting Diode,OLED)、压电陶瓷显示器、真空荧光显示器等等电子网版印刷技术中,印刷环境的调控是非常关键的一项调控技术,通常对印刷车间的温度、湿度和洁净度等都有着极其特殊的要求。对印刷车间的无尘工作间设计。通常洁净度为1万到10万级,温度为22℃±2℃,温度为60%±7%。对印刷精细度要求特别苛刻的无尘工作间要求温度在23℃±0.5℃,湿度为45%±2.5%,亦有的印刷车间采用20Pa的正压举措以防止和减少污染物进入无尘车间。
1、印刷洁净车间的设计
印刷洁净车间的空气洁净度是指空气中的含尘度,空气洁净度级别是以含尘的浓度(单位体积中尘粒的个数)来划分的/建立洁净度的标准。是洁净技术发展的重要标志。
世界上各国在制定自己的标准时,大都参考美国联邦标准。我国颁布的《工业企业洁净厂房设计规范》其等级划分和美国联邦标准亦相一致。
2、美国联邦标准FS209E(USA FEDERAL STANDARD209E)悬浮粒子洁净度级别美国联邦标准FS209E悬浮粒子洁净度级别参见表4。
3、中国电子工业部洁净室级别空气洁净度等级
表5及表6分别为原中国电子工业部洁净室级别空气洁净度等级和洁净室内的温湿度要求,可供读者参考。
4、相关行业洁净室必要的洁净度
表7及表8为相关行业洁净室必要的洁净度要求,可供读者参考。
(待续)
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