2 实验结果及分析2．1 等离子体炬长度与功率的关系 2种进气方式均在电压60V，电流为0．4A，功率为24W 条件下开始起弧放电。在气体流量为15L／min时放电功率和弧长的关系曲线见图3 图3表明2种进单体方式等离子体炬长度都随放电功率增加而增大，且增大幅度相近，没有显著差别。在起始阶段，弧长随放电功率的增大迅速增大，但当放电功率增大到40W时，继续增大放电功率等离子体炬长度增长趋缓。2．2 等离子体炬长度与进气量的关系 在功率为55W 时，以进气量为变量，观察等离子体炬长度的变化情况，见图4。 对单体直接输入到等离子体反应区方式，等离子体炬随进气量的增大而增长，且存在～个最高点，后随进气量的增大弧长减d＼。对单体输入到等离子体下游区的进气方式，在气流量较小时，等离子体炬长度就达到最大值，发生丝状放电，随流量增大，弧长反而变短，但等离子体炬变粗。这说明放电由带有丝状的电弧放电转变为均匀的弧光放电。 等离子体区下游进样放电，等离子体炬直接达到最大，这可能是由于气体分流，由空心内电极流出的气体稀释了放电区流出的离子,从而在低流量下起辉较晚.2.3 电极的电压与电流关系曲线 2种进样方式放电的电流电压曲线见图5.放电曲线近似成典型的介质放电具有的线性关系,由于介质的存在,避免了单体在被解离后不会因为电场的存在而吸附在电极上,从而不能到达基材表面.(待续)
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